退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电60%。
热处理炉分为退火炉、淬火炉、回火炉、正火炉、调质炉，主要用于大型碳钢、合金钢零件的退火；表面淬火件回火；焊件消除应力退火、时效等热处理工艺。加热方式有电加热、燃油、燃气、燃煤、热风循环。退火炉是一种新型换热设备。退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电60%。退火炉骨架由各种型钢焊接而成，外框用槽钢作主梁，围板采用冷薄板，台车用槽钢作主梁，底板及前后端板采用中板。退火炉传动部分：台车传动采用电动机、减速机通过链条带动前端一组主动轮传动。炉门传动是采用蜗轮减速机和电动机组合电动升降。
隧道式烘箱规格要求：
(1)烘干炉部门形状尺寸:长6~10米，外宽0.95米，网带链条宽0.55米总高1.5米，进料部门长0.5米，风---门长y米，入料部门长0.5米,整线房梁和箱体机壳采用2.0㎜厚冷板折弯而成，整个机械机壳高温静电喷塑或漆料，机架用40×80㎜方通焊接而成，机架两边连板,配16㎜调整脚杯.
箱体的温度控制采用了gcd一23a型智能温控和plc自控系统软件，温度信号的收集用铂电阻，经温度控制器的变大与设定值开展较为获得pid控制信号，另外plc程控器输出控制信号控制固态继电器ssr通断，固态继电器再控制电加热器加温，使箱体处在提温去湿环节。
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