工位芯片隧道炉销售 火焰山精工 工位芯片隧道炉厂商

1、固化炉工作原理

以翅片式散热器和不锈钢加热管为热源，利用风机对加热对流换气的方式加热空气，通过热空气与物料的热量传递，空气通过进风口不断补充，湿空气排出箱外，使炉内的温度不断提高，工件逐渐预热。

2、固化炉开机前准备

岗位操作人员开机前首先必须熟悉本机的结构性能、工作原理、调整方法、操作方法及保养知识。

检查设备的状态标志及卫生清洁状况。

检查电器系统是否完好，电动机是有无受潮漏电。

3、固化炉操作过程

首先将台车及炉内部清洗干净。

打开供电设备电源开关、打开设备“电源开关”按钮(钥匙旋钮右拧)

打开炉门，将工件及物料放上台车推入烘炉内，关闭炉门。

设定烘炉温度，并打开烘炉“风机”及“升温”按钮。

达到固化时间打开炉门，将台车推出炉门，取出固化后的物料。

当工作结束时，分别关闭“升温”和“风机”按钮，使加热系统、鼓风系统停止工作。

后关闭“电源开关”旋钮，合上总闸，打开炉门，取出已烘干的物料，工作程序结束

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电60%。