退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺,其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以掺杂剂,将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面,使致密沉积的薄膜,改变生长的薄膜的状态,修复注入的损伤,移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中,例如氧化,或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉,超节能结构,采用纤维结构,节电60%。
调式方法:调节进风风机的频率和排风风阀。
测试方法:用长丝线悬挂的方法进行测试,丝线偏向风压小的方向,同时记录各段风压表数值。
标准:洁净室相对于隧道烘箱箱体内部呈相对正压,箱体内部相对于外部环境呈相对正压。
隧道式烘干线主要应用于五金配件的水汽、固化、烘干,提,在食品行业也有广泛运用,它分皮带烘烤线和网带烘烤线,相对而言,网带所能适应的温度在(200度)左右,而皮带烘烤线适应的温度在(常温-200度)之间。同时也用于铁矿、钛矿、石英砂等各种矿物质等一定湿度或粒度的物料烘干。 适宜于需要长时间干燥物料,充分利用有效空间,处理量大。干燥介质在不同干燥区间水平,上下交互变换,循环利用,热。排湿,温度可根据干燥物料特性分区间分别设置,工艺适应性广。自动化操作,可根据情况设计成全自动或半自动,省力。
隧道式烘箱是在吸收国外---干燥灭菌技术的基础上自行开发的干燥灭菌机,它能将物料通过隧道式输送,有效利用干燥间空,适合各种形状物料的干燥。整个设备分为若干温湿度底段,物料在整个干燥区间处于干燥水平,上下交替,包括热风循环式和远红外式。
采用微机系统监测,用输送带输送瓶瓶依次进入隧道灭菌烘箱预热区、高温灭菌区、低温冷却区。输送机的转速无级可调,温度监测系统无纸或有纸记录。全过程均在百级层流保护下进行。
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