退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电60%。
特点：工件连续通过预热、加热、保温、缓冷、冷却，不受长度---。传动采用托辊式同步传动，变频调速，平稳---。通保护气氛和强力的热气氛循环，温度均匀，内外表面十分光亮。冷却区设计，---工件均匀冷却。处理的产品内外表面光亮，产品高，生产率高。加热方式：电加热或燃气加热。生产线组成：前辊道料台、前换气室、前预热区、加热炉、缓冷区、冷却区（含过渡区及强风冷区）、后换气室（含水冷区）后辊道料系统、计算机控制系统、电气控制系统、保护气氛装置。
隧道炉(食品工业生产类)是依据热的传送、对流传热、性物质开展食品类烘烤的隧道工程施工式机械设备。该烧烤箱炉体一般较长，小6米，至后60~80米。烘烤室为一细长隧道工程施工，总宽一般为80cm到140cm。隧道工程施工内有一条不断运作的运送系统。食品类烤制时，食品类依据输送链板、钢表带或输送皮带与电热原材料或直燃燃烧棒正中间导致相对运动。从而开展均匀烘烤和运送的工作上。这类烧烤箱可持续性生产制造，生产加工，节省人力资源管理，烘烤品质稳定。
电力型烧烤箱隧道炉特性：1、加热迅速，常温下升到200°仅必须15分钟，耗能比同业竞争隧道炉减少1/3上下。2、选用与日本品牌协作产品研发的电热控制方法。3、架构选用铝型材。4、保温材料选用csr品牌，相对密度高，隔热保温效果非常的好。5、內胆选用安全性、不形变、的热轧钢板。6、运输用传动链条选用日本技术性及日本---订制，具备耐磨损、不形变、自润式构造
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